卢翠英
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成来飞
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赵春年
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张立同
无机材料学报
doi:10.3724/SP.J.1077.2010.00845
采用CG/MS定性定量分析了MTS/H2体系CVD SiC的气相组成,考察了沉积温度、总压和流量对气相组成的影响,从反应速率和分子浓度大小的角度出发,分析了MTS在H2中的分解步骤.主要结论如下:(1)检测到CH4、C2H6、C2H4、C3H6、C2H2、MTS、SiCl4和CH3SiHCl2物质,其中CH4和SiCl4的含量较高.(2)体系温度、总压和总流量对气相组成有显著影响,其影响规律与热力分析结果一致.(3)MTS主要以Si-C键断裂引发分解反应,经历与原反应气反应、中间物质和副产物生成等主要阶段,CH3→C2H6→C2H4→C2H2是生成烷烃化合物的主要路径.
关键词:
GC/MS
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气相分析
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CVD SiC
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MTS/H2
韩绍华
硅酸盐通报
采用高放热反应且摩尔比为1∶1的镍-铝二元系作为焊料,利用微波引燃的方法使体系以内部加热的方式迅速升温到燃烧温度并发生自蔓延高温合成反应,最终实现化学气相沉积碳化硅陶瓷(CVD SiC)的连接,研究不同反应产物对连接强度的影响规律.研究表明:反应层平均厚度约300 μm,反应产物与碳化硅基体之间的界面结合良好,但接头内存在着大量气孔,致密度较低.母材与中间层产物的热错配应力问题使接头界面处存在大量微裂纹.由于自蔓延连接的复杂性与高度不平衡性使反应产物较难控制,接头断面的XRD结果表明不同接头中生成了不同相的镍-铝系金属间化合物以及氧化物,但均未检测到残余单质Ni或Al.氧化物的出现会极大影响接头的剪切强度,导致试样接头强度的数值偏差较大.
关键词:
镍-铝系焊料
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CVD碳化硅
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微波助燃自蔓延连接
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微观结构
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连接强度
